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无尘室管理规范 部门：MFG 日期：11-09-29 Contents 无尘室基本介绍 1.无尘室又称洁净室（Clean Room） 无尘室是一个为了对室内空气中的微粒数进行控制所建的特殊封闭式建筑并具备下列特性的密闭作业空间： a.空气中微粒数小于一定数目 b.能防止外界微尘粒子进入 c.能迅速排出室内所产生之微尘粒子和有害气体到室外 d.维持温度、湿度及室压于一定标准 e.能防止静电、电磁等有害制程的干扰 f.安全及节能的考量 2.无尘室管理的目的 有效管理无尘室生产设备、工具、人员的进出、无尘衣鞋等，确保无尘室的高效洁净度、设备的正常运转及制程的稳定。 无尘室基本介绍 无尘室基本介绍 无尘室基本介绍 无尘室基本介绍 就玻璃基板而言，微尘粒子之附着将造成玻璃基板的划伤，短路和贴附气泡等制程品质不良，而造成报废。因此对污染源的控制已成为无尘室管理的重要环节。 1.外部尘埃侵入之防止 无尘室适当正压保持（0.5mmHg）,做好前期施工工程保证不漏气，人员、设备、原材料、治工具、耗材等携入无尘室之前必须做好清洁擦拭等防尘动作。同时清洁工具需妥善放置及定时更换或清洁。 2.无尘室内发生及防止 隔间板、地板等无尘室材料的适当选用，制程设备的发生控制即定期保养清洁，生产人员人在其位不得随意走动或较大肢体动作，特殊站点采取增加粘尘垫等预防措施。 3.室内发生之不积累 组织生产人员定期清洁无尘室内的各个角落，遵循从上到下、从外到内的清洁方法。 4.无尘等级极度劣化之处理 暂停所有生产，将设备、治工具等清洁后打包密封，检查厂务设备、过滤网等，采取泄压方式处理。 进出无尘室的管制与方法 1.一般人员 a.经过专门培训并考核通过 b.需严格遵循《无尘室管理规范》的要求 c.身体健康无传染病 d.服从现场主管的管理 e.随身携带物品需遵循无尘室物品管制的要求 2.厂商 a.经过专门培训并由公司负责人签字确认 b.由公司接待人员负责开立《施工厂商无尘室进入申请单》，经主管签字 c.由公司接待人员随同进入 d.携带物品由公司接待人员负责开立《物品携入、携出申请单》，经主管签字 3.来宾 a.由公司接待人员负责开立《来宾无尘室进入申请单》，经主管签字 b.由公司接待人员陪同沿参观路线参观 进出无尘室的管制与方法 进出无尘室的管制与方法 进出无尘室的管制与方法 进出无尘室的管制与方法 进出无尘室的管制与方法 进出无尘室的管制与方法 无尘衣鞋及日常用品管理 无尘衣鞋及日常用品管理 设备进出无尘室管理 无尘室的纪律 厂商进出无尘室注意事项 无尘室物料管理 化学药品管理 文件档案管理 标示管理 无尘室安全注意事项 核准： 审核： 制作：Torry Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 无尘室的纪律 设备进出无尘室管理 无尘衣鞋及日常用品管理 进出无尘室的管制与方法 无尘室基本介绍 文件档案管理 无尘室物料管理 厂商进出无尘室注意事项 标示管理 无尘室安全注意事项 化学药品管理 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 测量地点 大气层圈 田园地区(微风) 住宅地区 办公室(工作中) 施工厂区 正在吸烟的会议室 微尘粒子数(PC/ft3) ≥0.5μm ≤100 10万~30万 10万~20万 20万~40万 40万~100万 60万~100万 各种条件下微尘状况 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 美国联邦标准（ USA Federal Standard ）209E （1992 年）PC/ft3 洁净度级别 1 10 100 1000 10000 100000 粒 径 (um) 0.1 35 3

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