上海矽弼半导体申请一种探针台用压缩空气气冷快速冷却装置专利，大大降低投入成本

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金融界2024年12月19日消息，国家知识产权局信息显示，上海矽弼半导体科技有限公司申请一项名为“一种探针台用压缩空气气冷快速冷却装置”的专利，公开号CN 119136516 A，申请日期为2024年11月。

专利摘要显示，本发明涉及一种探针台用压缩空气气冷快速冷却装置，包括与气浮运动平台相连的支撑连接块和固定在支撑连接块上方的支撑底座，所述支撑底座的内部安装有四氟环带，所述支撑底座内腔通过螺纹套管组件安装有气冷盘，本发明涉及探针台技术领域。该一种探针台用压缩空气气冷快速冷却装置，通过气冷盘对吸盘进行控温，整体结构简单，操作便捷，集成化程度高，减少空间占用，将外部的压缩空气进行导入，同时通过出气槽对空气进行引导后通过出气槽进行均匀分散，从而完成对探针台的风冷降温，大大降低了投入成本，利于使用，同时密闭腔室能够有效的隔绝外部的空气，防止大量的水蒸气液化形成滴露，形成干燥的工作环境。

本文源自：金融界

作者：情报员

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